ПРОБЛЕМЫ КОЛИЧЕСТВЕННОГО ПОСЛОЙНОГО АНАЛИЗА МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ И ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ, КАРБИДОВ И КАРБОНИТРИДОВ МЕТАЛЛОВ, ПРИМЕНЯЕМЫХ В ЭНЕРГЕТИКЕ

Рассмотрены основные проблемы количественного послойного анализа модифицированных поверхностных слоев и защитных покрытий для повышения эксплуатационных характеристик поверхностей энергетического оборудовании на основе нитридов, карбидов и карбонитридов металлов методом спектроскопии тлеющего разряда (калибровка по C и N, выбор параметров измерения, структура поверхности образца). Для покрытий с различным содержанием азота и углерода проведена аттестация их содержания методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии ( РФЭС) для использования при калибровке спектрометров тлеющего разряда. Проанализировано влияние параметров режима измерения на форму кратеров при прожиге различных типов материалов и покрытий. Рассмотрена разрешающая способность метода тлеющего разряда при исследовании наноструктурных покрытий.

спектроскопия тлеющего разряда, элементный состав, защитные покрытия, нитриды, карбиды, карбонитриды, стандартные образцы

1. Григорович K. B., Яйцева E. B. Спектрометры тлеющего разряда - новое перспективное направление в приборостроении // Аналитика и контроль. 2002. Т. 6. №2. С.143 - 150.

2. Углов В. В. Методы анализа элементного состава поверхностных слоев: пособие для студентов спец. - 31 04 01 «Физика (по направлениям)» и 1 - 31 04 02 «Радиофизика» / В. В. Углов, Н. Н. Черенда, В. М. Анищик. - Минск: БГУ, 2007. 167 с.

3. Спрыгин Г. С. Особенности количественного послойного анализа тонких покрытий на спектрометрах тлеющего разряда // Перспективные материалы. - 2010. - С.242-246.

4. Шапон П. Определение общего содержания элементов и анализ слоев с помощью оптической спектроскопии высокочастотного тлеющего разряда // Аналитика и контроль. - 2007. Т. 11. №1. - С.46 -51.

5. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок: Пер. с англ. - М.: Мир, 1989.