ПРОБЛЕМЫ КОЛИЧЕСТВЕННОГО ПОСЛОЙНОГО АНАЛИЗА МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ И ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ, КАРБИДОВ И КАРБОНИТРИДОВ МЕТАЛЛОВ, ПРИМЕНЯЕМЫХ В ЭНЕРГЕТИКЕ
Аннотация
Рассмотрены основные проблемы количественного послойного анализа модифицированных поверхностных слоев и защитных покрытий для повышения эксплуатационных характеристик поверхностей энергетического оборудовании на основе нитридов, карбидов и карбонитридов металлов методом спектроскопии тлеющего разряда (калибровка по C и N, выбор параметров измерения, структура поверхности образца). Для покрытий с различным содержанием азота и углерода проведена аттестация их содержания методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии ( РФЭС) для использования при калибровке спектрометров тлеющего разряда. Проанализировано влияние параметров режима измерения на форму кратеров при прожиге различных типов материалов и покрытий. Рассмотрена разрешающая способность метода тлеющего разряда при исследовании наноструктурных покрытий.
Об авторах
А. В. Рыженков
ФГБОУ ВПО НИУ «МЭИ»
Россия
Россия
О. С. Зилова
ФГБОУ ВПО НИУ «МЭИ»
Россия
Россия
Г. В. Качалин
ФГБОУ ВПО НИУ «МЭИ»
Россия
Россия
А. А. Батраков
ФГБОУ ВПО НИУ «МЭИ»
Россия
Россия
А. А. Бурмистров
ФГБОУ ВПО НИУ «МЭИ»
Россия
Россия
А. П. Лепехов
ФГБОУ ВПО НИУ «МЭИ»
Россия
Россия
Список литературы
1. Григорович K. B., Яйцева E. B. Спектрометры тлеющего разряда - новое перспективное направление в приборостроении // Аналитика и контроль. 2002. Т. 6. №2. С.143 - 150.
2. Углов В. В. Методы анализа элементного состава поверхностных слоев: пособие для студентов спец. - 31 04 01 «Физика (по направлениям)» и 1 - 31 04 02 «Радиофизика» / В. В. Углов, Н. Н. Черенда, В. М. Анищик. - Минск: БГУ, 2007. 167 с.
3. Спрыгин Г. С. Особенности количественного послойного анализа тонких покрытий на спектрометрах тлеющего разряда // Перспективные материалы. - 2010. - С.242-246.
4. Шапон П. Определение общего содержания элементов и анализ слоев с помощью оптической спектроскопии высокочастотного тлеющего разряда // Аналитика и контроль. - 2007. Т. 11. №1. - С.46 -51.
5. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок: Пер. с англ. - М.: Мир, 1989.
Для цитирования:
Рыженков А.В., Зилова О.С., Качалин Г.В., Батраков А.А., Бурмистров А.А., Лепехов А.П. ПРОБЛЕМЫ КОЛИЧЕСТВЕННОГО ПОСЛОЙНОГО АНАЛИЗА МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ И ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ, КАРБИДОВ И КАРБОНИТРИДОВ МЕТАЛЛОВ, ПРИМЕНЯЕМЫХ В ЭНЕРГЕТИКЕ. Надежность и безопасность энергетики. 2014;(2):46-51.
Просмотров: 134
Послать статью по эл. почте 