energsecurityНадежность и безопасность энергетикиSafety and Reliability of Power Industry1999-55552542-2057ООО «НПО Энергобезопасность»energsecurity-24Research ArticleСтатьиПРОБЛЕМЫ КОЛИЧЕСТВЕННОГО ПОСЛОЙНОГО АНАЛИЗА МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ И ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ, КАРБИДОВ И КАРБОНИТРИДОВ МЕТАЛЛОВ, ПРИМЕНЯЕМЫХ В ЭНЕРГЕТИКЕРыженковА. В.noemail@neicon.ruЗиловаО. С.noemail@neicon.ruКачалинГ. В.noemail@neicon.ruБатраковА. А.noemail@neicon.ruБурмистровА. А.noemail@neicon.ruЛепеховА. П.noemail@neicon.ruФГБОУ ВПО НИУ «МЭИ»Russian Federation201402022017024651Copyright © Рыженков А.В., Зилова О.С., Качалин Г.В., Батраков А.А., Бурмистров А.А., Лепехов А.П., 20172017Рыженков А.В., Зилова О.С., Качалин Г.В., Батраков А.А., Бурмистров А.А., Лепехов А.П.Рыженков А.В., Зилова О.С., Качалин Г.В., Батраков А.А., Бурмистров А.А., Лепехов А.П.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.sigma08.ru/jour/article/view/24

Рассмотрены основные проблемы количественного послойного анализа модифицированных поверхностных слоев и защитных покрытий для повышения эксплуатационных характеристик поверхностей энергетического оборудовании на основе нитридов, карбидов и карбонитридов металлов методом спектроскопии тлеющего разряда (калибровка по C и N, выбор параметров измерения, структура поверхности образца). Для покрытий с различным содержанием азота и углерода проведена аттестация их содержания методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии ( РФЭС) для использования при калибровке спектрометров тлеющего разряда. Проанализировано влияние параметров режима измерения на форму кратеров при прожиге различных типов материалов и покрытий. Рассмотрена разрешающая способность метода тлеющего разряда при исследовании наноструктурных покрытий.

Key problems are considered of quantitative layer-by-layer analysis of modified surface layers and protective coatings for improving operational characteristics of surfaces of power engineering equipment based on nitrides, carbides and carbonitrides of metals by the glow discharge spectroscopy method (C and N calibration, selection of measurement parameters, structure of sample surface). For coatings with different nitrogen and carbon contents, certification of their contents is performed by the X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) method to be used for calibration of glow discharge spectrometers. Relationship is analyzed between parameters of the measurement conditions and the shape of craters for burning of different types of materials and coatings. Resolution of the glow discharge method in research of nanostructure coatings is considered.

спектроскопия тлеющего разрядаэлементный составзащитные покрытиянитридыкарбидыкарбонитридыстандартные образцыReferencesГригорович K. B., Яйцева E. B. Спектрометры тлеющего разряда - новое перспективное направление в приборостроении // Аналитика и контроль. 2002. Т. 6. №2. С.143 - 150.Григорович K. B., Яйцева E. B. Спектрометры тлеющего разряда - новое перспективное направление в приборостроении // Аналитика и контроль. 2002. Т. 6. №2. С.143 - 150.Углов В. В. Методы анализа элементного состава поверхностных слоев: пособие для студентов спец. - 31 04 01 «Физика (по направлениям)» и 1 - 31 04 02 «Радиофизика» / В. В. Углов, Н. Н. Черенда, В. М. Анищик. - Минск: БГУ, 2007. 167 с.Углов В. В. Методы анализа элементного состава поверхностных слоев: пособие для студентов спец. - 31 04 01 «Физика (по направлениям)» и 1 - 31 04 02 «Радиофизика» / В. В. Углов, Н. Н. Черенда, В. М. Анищик. - Минск: БГУ, 2007. 167 с.Спрыгин Г. С. Особенности количественного послойного анализа тонких покрытий на спектрометрах тлеющего разряда // Перспективные материалы. - 2010. - С.242-246.Спрыгин Г. С. Особенности количественного послойного анализа тонких покрытий на спектрометрах тлеющего разряда // Перспективные материалы. - 2010. - С.242-246.Шапон П. Определение общего содержания элементов и анализ слоев с помощью оптической спектроскопии высокочастотного тлеющего разряда // Аналитика и контроль. - 2007. Т. 11. №1. - С.46 -51.Шапон П. Определение общего содержания элементов и анализ слоев с помощью оптической спектроскопии высокочастотного тлеющего разряда // Аналитика и контроль. - 2007. Т. 11. №1. - С.46 -51.Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок: Пер. с англ. - М.: Мир, 1989.Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок: Пер. с англ. - М.: Мир, 1989.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.